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目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。 　　

硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，1002295865活塞品质，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。 　　

MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力大处，组成惠斯顿测量电桥，1002295865活塞优势，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。　　

电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，即△压力=△电容量。

控制排放

汽车尾气排出的CO、HC碳氢化合物和NOx氮氧化物等有害气体，这些气体将严重的影响气候。而三元催化器是装在汽车排气管路上的净化装置，其内部的净化剂可以将尾气中的有害气体转换为无害的二氧化碳、水和氮气。而监控三元催化器的好坏的元件就是后氧传感器。其与前氧之间的电压差变化来判断经过三元催化器的气体是否已经净化。从而判断三元催化器的好坏，从而控制排放。

氧传感器一旦出现故障，将使电子燃油喷射系统的电脑不能得到排气管中氧浓度的信息，因而不能对空燃比进行反馈控制，武汉1002295865活塞，会使发动机油耗和排气污染增加，发动机出现怠速不稳、缺火、喘振等故障现象。因此，必须及时地排除故障或更换。

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