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为满足纳米级电子束曝光系统的要求，系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路，并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈，从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。

曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。

电子射出后，受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动，并受中轴周围磁透镜作用形成聚焦电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。

扫描过程中，电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方，1001349818奥铃大黄蜂国六尿素泵纯新，其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。

(三) 阻剂(光阻)

阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性，再经过显影后，曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面，显出所设计的微影图案，而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。

湿度传感器原理:

湿度传器湿敏元件主要电阻式、电容式两类。

湿敏电阻:基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，1001349818奥铃大黄蜂国六尿素泵厂家，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。

湿敏电容:用高分子薄膜电容制成的，淮北1001349818奥铃大黄蜂国六尿素泵，常用的高分子材料有聚、聚酰、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。

检查轨压传感器的供电:将点火开关置于OFF档，拔压传感器接头。再将点火开关置于ON档，测量传感器接头电源线213对地电压，正常电压在4.9-5.1V之间。

检查轨压传感器信号线214端是否开路：用万用表测量插头针脚2的电压，正常为4.9-5.1V；

检查轨压传感器信号线214对电池短路：关闭点火开关，拔下ECU端插头2，打开点火开关，用表测量ECU线束端214电压，正常为0；

检查轨压传感器电源线213端和轨压传感器信号线214是否短路：用表测量ECU线束213和214之间电阻，1001349818奥铃大黄蜂国六尿素泵质优，正常为无穷大；

检查轨压传感器底线212是否开路：关闭点火开关，插回ECU插头，用表测量插头针脚1对地电阻，正常为0；

检查轨压传感器内部是否开路，若不行更换轨压传感器。