企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 山东 济南 济南市 |
联系卖家: | 邱经理 女士 |
手机号码: | 13705317050 |
公司官网: | www.sinotruck.link |
公司地址: | 山东省济南市天桥区蓝翔路56号泉利汽配城21-102 |
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目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,临汾1008110099威孚力达DCU,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器,上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下二根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小,即△压力=△电容量。
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