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目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,1008110099威孚力达DCU质优,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力大处,1008110099威孚力达DCU现货,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器,上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下二根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小,1008110099威孚力达DCU供货商,即△压力=△电容量。
电子式机油压力传感器的接线方式与传统的机械式传感器完全一致,能替代机械式压力传 感器,直接与汽车机油压力指示表和低压报连接,指示柴油汽车发动机的机油压力和提供低压报警信号。与传统的压阻式油压传感器相比,电子式汽车机油压力传感器具有无机械 运动部件(即无触点)、精度高、可靠性高、寿命长等优点,并且符合汽车电子化发展的要求。
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